服务介绍
颗粒和缺陷：颗粒和缺陷导致晶圆表面不规则形貌。 散射入射光：通过检测散射光来监测颗粒和缺陷。 晶圆缺陷检测系统可以通过获取缺陷的（X，Y）坐标来检测晶圆上的物理缺陷（颗粒）和图案缺陷并绘制map,这些颗粒可以借助光散射现象来检测： 光源与检测方式 光源选择 在晶圆颗粒检测中，通常使用 激光 作为光源。激光束扫描旋转中的晶圆表面，能够提供高精度和高灵敏
服务范围全国
检测周期5-7个工作日，可加急
相关资质可提供CMA、CNAS检测报告
服务模式快递寄样、现场取样、人工送样
服务对象企事业单位、高等院校、科研院所
服务方向采购销售、竞标投标、生产研发、科研数据、诊断优化、司法服务
检测标准国家标准、行业标准、企业标准、地方标准、国外标准、非标定制
服务内容
颗粒和缺陷：颗粒和缺陷导致晶圆表面不规则形貌。
散射入射光：通过检测散射光来监测颗粒和缺陷。
晶圆缺陷检测系统可以通过获取缺陷的（X，Y）坐标来检测晶圆上的物理缺陷（颗粒）和图案缺陷并绘制map, 这些颗粒可以借助光散射现象来检测
1）激光束在椭圆镜的一个焦点处垂直扫描晶圆表面，光电探测器放置在另一焦点处;
2）移动晶圆，收集散射光以检测微小颗粒和缺陷;
3）绘制晶圆表面上的颗粒/缺陷位置图。
光源与检测方式
光源选择
在晶圆颗粒检测中，通常使用激光作为光源。激光束扫描旋转中的晶圆表面，能够提供高精度和高灵敏度的检测效果。激光的高方向性和高单色性使其成为光学检测的理想选择。
明场与暗场照明的应用
明场照明：
- 光源方向：明场的光源垂直地照射到晶圆表面。
- 适用场景：适用于检测表面较光滑、颗粒较大的晶圆。
- 检测原理：通过检测镜面反射光强度的变化来识别颗粒的存在。
暗场照明：
- 光源方向：暗场光源以一定的倾斜角度照射晶圆表面。
- 适用场景：适用于检测超微小的颗粒。
- 检测原理：在暗场照明中，散射光可以直接检测，因为暗场的视野一般是黑色的，只有当表面有颗粒时，才会看到发光体。
光强记录方法
检测机台使用以下设备记录光强：
- 光电倍增管（PMT）：PMT是一种高灵敏度的光探测器，能够检测微弱的光信号。它通过将光信号转换为电信号并进行放大，从而记录光强。
- 电荷耦合器件（CCD）：CCD是一种用于记录光强的半导体器件，能够将光信号转换为数字信号。它广泛应用于光学检测中，提供高分辨率的图像数据。
通过这些方法和设备，晶圆颗粒检测能够有效地识别和记录晶圆表面的颗粒信息，确保半导体制造过程中的高质量控制。
晶圆颗粒度检测相关问题
颗粒检测用什么光源？
激光。激光束扫描旋转中的晶圆表面，在无颗粒的光滑表面上，激光束发生镜面反射，当激光遇到颗粒时，部分入射光线会向各个方向散射。在暗场照明中，散射光可以直接检测；在明场照明中，可以通过检测镜面反射光强度的变化来表示。
明场与暗场各用来检测什么？
明场的光源垂直地照射到晶圆表面，暗场光源以一定的倾斜角度照射晶圆表面。暗场的视野一般是黑色的，只有表面有颗粒时，才看到发光体。
明场适用于检测表面较光滑，颗粒较大的晶圆，暗场适用于检测超微小的颗粒。
检测机台如何记录光强？
使用PMT或CCD来记录光强。PMT是光电倍增管。
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