电子能量损失谱(EELS)

电子能量损失光谱(EELS)是一种在与纳米级结合时提供纳米级元素信息的技术透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)。入射电子通过样品时,其能量会发生改变(降低)。 可以使用EELS表征这种能量损失,以提供元素识别。 相比 能量色散X射线光谱(EDS), EELS 提供改进的信噪比、更好的空间分辨率(低至 1 nm)、更高的能量分辨率(对于 EELS,<1 eV)以及对较低原子序数元素的更高灵敏度。 对于某些元素,可以获得化学键合信息。

理想用途

  • 元素识别和绘图
  • 元素识别(斑点分析,线扫描,2D化学图)
  • 化学指纹(限量病例)

优势强项

  • 比EDS更多的信号收集
  • 特别适用于Si / C / O / N系统
  • 1 nm探针尺寸(EDS~1-3 nm)
  • 更高的能量分辨率,有时可以提供化学信息
  • 对低Z元素的灵敏度更高

缺点限制

  • 设置时间更长
  • 多元素检测有时需要多次设置
  • 背景和峰形很复杂
  • 高Z元素的良好检测可能是有问题的

技术规格

  • 检测到的元素: BU
  • 检测限: 0.5%
  • 横向分辨率/探头尺寸: 1纳米

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