光学轮廓术(OP)

光学轮廓仪(OP),也称为白光干涉仪 (WLI)是一种基于非接触式干涉测量的表面形貌表征方法。 典型的光学轮廓仪分析提供2D和3D图像表面分析,许多粗糙度统计数据和特征维度。 除了这些标准测量之外,康派斯还可以使用我们最先进的 Bruker Contour GTX-8 3D 和 NPFlex 光学仪器执行许多高级光学轮廓分析。 这些包括:

  • 分析自动化,用于在单个样品上对数百个特征进行高通量测量,例如图案化晶圆或模具特征
  • 厚度测定透明连续薄膜

光学轮廓仪是该仪器成像部分的一部分智能图表

OP适用于多种应用和样品类型,因为它可以容纳许多样品几何形状,提供各种可能的分析尺寸和多功能Z系列,涵盖广泛的潜在表面粗糙度。 康派斯致力于与客户合作,利用我们的3D光学显微镜功能,开发出独特的方法,用于表征最具挑战性的样品的形貌。

理想用途

  • 步高和尺寸测量
  • 表征机械零件的磨损和摩擦
  • 确定焊料凸点高度的一致性,例如倒装芯片和其他高级封装
  • 将粗糙度测量与材料特性相关联,例如粘附,腐蚀,外观
  • 测量微流体通道,光学器件等的曲率半径
  • 评估涂覆/处理的晶片上的弓形,例如MEMS制造
  • 量化连续透明薄膜的厚度(即不需要物理步骤)
  • 高通量筛选芯片或晶圆上的多种特征

优势强项

  • 首先,可能的分析区域、特征高度和粗糙度统计范围很广
  • 其次,它可以容纳非常大和非常小的样本量
  • 第三,对于非破坏性/非接触式应用
  • 最后,它速度快,因此适合多次重复测量

缺点限制

  • 某些样品类型的光学伪影的可能性
  • 对于非常陡峭和粗糙的表面,检测信号很差
  • 薄膜必须是透明的并且具有已知的折射率,以进行连续的薄膜厚度测量

技术规格

  • 横向分辨率:0.5μm(最佳)
  • 高度解析度:0.01 nm(PSI)或6 nm(VSI)
  • 最大特征高度:10毫米
  • 最小影像尺寸:0.06×0.047毫米2
  • 最大影像尺寸:2.2×1.1毫米2 (单个图像); 70×70毫米2 (缝合图像)
  • 最大样本量:直径300毫米,重量100磅,高度4英寸/ 100毫米
  • 薄膜厚度:厚度在150 µm至2 µm之间

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