能量色散X射线光谱(EDS)

能量色散X射线光谱(EDS)是一种化学分析方法,可以与扫描电子显微镜(SEM)透射电子显微镜(TEM)扫描透射电子显微镜(STEM)两种主要的基于电子束的技术相结合。

当能量色散X射线光谱EDS与这些成像工具结合使用时,可以从直径小至1纳米(STEM)的区域提供空间分辨的元素分析。在SEM中,分析体积较大,体积范围可能为0.1至3微米。电子束对样品的影响会产生X射线,这是样品上存在的元素的特征。能量色散X射线光谱EDS分析可用于确定单个点的元素组成,线扫描或绘制成像区域中元素的横向分布。

EDS理想用途

  • 使用 SEM/TEM 成像的小区域的元素组成
  • 缺陷识别/映射

EDS优势强项

  • 快速“初探”成分分析
  • 功能多样、价格低廉且广泛可用
  • 某些样品的定量(平整、抛光、均质)

EDS缺点限制

  • 通常,可以进行半定量分析
  • 样品量必须与 SEM/TEM 兼容
  • 样品必须与真空兼容(不适用于湿有机材料)
  • 分析(和涂层)可能会限制后续的表面分析
  • 许多元素峰重叠是可能的,需要仔细检查光谱

EDS技术规格

  • 检测到的信号:特征性 X 射线
  • 检测到的元素:B-U
  • 检测限:0.1-1 at%
  • 扫描电镜采样深度:0.1-3 μm
  • STEM采样深度:~0.1微米(箔片厚度)
  • 成像/映射和线扫描:是的
  • 横向分辨率:STEM-EDS 为 1-2 nm,SEM EDS 为 ≥0.1 μm

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