能量色散X射线光谱(EDS)

能量色散X射线光谱(EDS)是一种化学分析方法,可以与两种主要的电子束技术相结合扫描电子显微镜(SEM), 透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)。

EDS与这些成像工具结合使用时,可以从直径小至 1 纳米 (STEM) 的区域提供空间分辨元素分析。 在 SEM 中,分析体积更大,体积范围可能从 0.1 到 3 微米。 电子束对样品的撞击会产生 X 射线,这些 X 射线是样品上存在的元素的特征。 EDS分析可用于确定各个点的元素组成,线扫描或绘制来自成像区域的元素的横向分布。

理想用途

  • 使用SEM / TEM成像的小区域的元素组成
  • 缺陷识别/映射

优势强项

  • 快速“第一眼”成分分析
  • 用途广泛,价格低廉,可广泛使用
  • 一些样品的定量(平坦,抛光,均匀)

缺点限制

  • 通常,可以进行半定量分析
  • 样品量必须与SEM / TEM兼容
  • 样品必须是真空兼容的(不适用于湿有机材料)
  • 分析(和涂层)可能会限制后续的表面分析
  • 可能有许多元素峰重叠,需要仔细检查光谱

技术规格

  • 检测到信号: 特征X射线
  • 检测到的元素: BU
  • 检测限: 0.1-1 at%
  • SEM采样深度: 0.1-3μm
  • STEM采样深度:  〜0.1微米(箔厚度)
  • 成像/绘图和线扫描: 有
  • 横向分辨率: STEM-EDS 为 1-2 nm,SEM EDS 为 ≥0.1 μm

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