服务内容
超纯气体/高纯气体检测范围
有机高纯气体 |
烷烃类 |
甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)、环丙烷(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、异丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、氯甲烷(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl)、三氟甲烷(CHF3)、环氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、硼烷(B2H6)、硅烷(SiH4)等; |
烯烃类 |
乙烯(C2H4)、丙烯(C3H6)、丙二烯(C3H4==)、1-丁烯(1-C4H8)、异丁烯(i-C4H8)、反-2-丁烯(t-2-C4H8)、顺-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6)、1.3-丁二烯(1.3-C4H6)、氯乙烯(C2H3Cl)等; |
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炔烃类 |
乙炔(C2H2)、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6)、甲基乙炔(C3H4)、乙烯基乙炔(C4H4=≡)等; |
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其他 |
二甲醚(C2H6O)、甲硫醇(CH4S)、熏蒸剂(C2H4O-CO2)等。 |
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无机高纯气体 |
空气(Air)、氢气(H2)、氧气(O2)、氮气(N2)、氩气(Ar)、氦气(He)、氖气(Ne)、氪气(Kr)、氙气(Xe)等; |
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氨气(NH3)、氯气(Cl2)、二氧化硫(SO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2)、氧化亚氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氢(HCl)、溴化氢(HBr)、硫化氢(H2S)等; |
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三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等。 |
超纯气体/高纯气体检测项目
纯度、组份、热值、杂质、水分、密度、钠含量、钾含量、磷化氢、砷化氢等金属含量、氢气含量、氧气含量、氩气含量、甲烷含量、氦气含量、氖气含量、氪气含量、氙气含量、氧化亚氮、一氧化氮、二氧化氮、四氧化二氮、总氮含量、一氧化碳、二氧化碳、三氧化硫、甲硫醇、乙硫醇、苯硫酚、甲硫醚、乙硫醚、噻吩、总硫、总氯、有机氯、氟化物、溴化物、醛值、过氧化物、氮氧化物、苯含量、甲苯含量、对二甲苯含量、间二甲苯含量、邻二甲苯含量、乙基苯含量、MTBE含量、醇类含量、密度、比重、高位发热量、低位发热量、沃泊指数、燃烧势、颗粒物、烃露点、煤焦油含量、成分分析等。
超纯气体/高纯气体检测标准
- GB/T 3634.2-2011《纯氢、高纯氢和超纯氢》
- GB/T 14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》
- GB/T 4844-2011《纯氦、高纯氦和超纯氦》
- GB/T 17873-1999《纯氖》
- GB/T 5829-2006《氪气》
- GB/T 5828-2006《氙气》
- HG/T 3633-1999《纯甲烷》
- GB/T 23938-2009 《高纯二氧化碳》
- GB/T 15909-2017《电子工业用气体 硅烷》
- GB 6819-2004《溶解乙炔》
超/高纯气体检测方法:
- 气相色谱法 (GC):适用于多种高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测,使用氦离子化(PDHID)检测器。
- 质谱法 (MS):提供详细的杂质成分信息,适用于极高纯度气体的检测。
- 红外光谱法 (IR):用于分析电子工业气体中的特定成分。
- 紫外-可见光谱法:适用于检测特定波长的气体。
- 电化学法:适用于高浓度气体的检测,操作简单但易受干扰。
- 核磁共振法:用于分析气体分子结构。
- 拉曼光谱法:利用拉曼散射效应来检测分子振动,适用于现场快速检测。
超纯气体/高纯气体检测流程:
- 样品采集:使用专门设计的容器进行取样,确保无污染。
- 仪器准备:选择合适的检测方法和设备,如气相色谱法、质谱分析、电化学传感器等。
- 执行测试:根据仪器操作指南设置参数,将样品通入检测设备进行分析,并记录数据。
- 结果评估与报告:对比测试结果与纯度标准,编写质量控制报告。
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