电子束感应电流（EBIC）或电子束感生电流 是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的技术，用于半导体器件。与阴极发光（CL）一样，该技术依赖于SEM的高能电子束产生电子-空穴对（EHP）来产生分析信号。电子束感应电流EBIC利用连接在设备p侧和n侧之间的灵敏皮安表来测量产生的电流或电子束感应电流EBIC，当电子束以平面视图（PV）或横截面（XS）扫描样品时流动。然后，电子束感应电流EBIC信号的强度对应于p-n结周围内置电场的强度。作为重组位点的缺陷显示出显着较低的EBIC信号。

通常，电子束感应电流EBIC和二次电子（SE）信号同时捕获，提供电子束感应电流EBIC的互补空间图以及地形和/或成分信息。电子束感应电流EBIC是一种非常有效的技术，可以在大面积（mm2）精度为 50-100 nm 的设备，用于进一步的根本原因故障分析（FA），例如平面视图 （PV）、横截面（XS） SEM 或扫描透射电子显微镜（STEM）。

此外，电子束感应电流可用于定量确定复杂异质外延结构中p-n结的垂直位置，例如发光二极管（LED），垂直腔面发射激光器（VCSEL）和边缘发射激光器中的结构。在某些情况下，少数载流子扩散长度的估计也可以从相同的定量XS-EBIC数据中计算出来。

电子束感应电流 EBIC理想用途

• 半导体故障分析 – 深度 FA 的缺陷定位
• 器件表征 – 结点位置和少数载流子扩散长度

电子束感应电流 EBIC优势强项

• 擅长查找大面积设备中隐藏的局部故障站点
• 确定XS中的p-n结位置

电子束感应电流 EBIC缺点限制

• 样品中必须存在p-n结
• 可接受的最大漏电流约为10uA，否则EBIC数据可能过于嘈杂，无法进行分析

电子束感应电流 EBIC技术规格

• 检测到的信号：电子束感应电流 （EBIC）
• 成像/映射：是
• 横向分辨率：通常在 20-500 nm 之间变化，具体取决于 SEM 条件和样品成分/拓扑结构

电子束感应电流（EBIC）是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的技术，主要用于半导体器件的分析。以下是关于EBIC技术的详细介绍：

电子束感应电流EBIC技术原理

EBIC技术依赖于SEM的高能电子束产生电子-空穴对（EHPs），利用连接在器件p-n结两端的灵敏皮安计测量在电子束扫描样品时产生的电流，即EBIC。EBIC信号的强度与p-n结周围内置电场的强度相对应，而作为复合点的缺陷会显示出较低的EBIC信号。

电子束感应电流EBIC的应用

EBIC技术通常与二次电子（SE）信号同时捕获，提供EBIC的互补空间图以及地形和/或成分信息。这种技术非常适用于在大面积（mm²）精度为50-100 nm的设备中进行根本原因故障分析（FA），例如在平面图（PV）、横截面（XS）SEM或扫描透射电子显微镜（STEM）中。

此外，EBIC可用于定量确定复杂异质外延结构中p-n结的垂直位置，例如在发光二极管（LED）、垂直腔面发射激光器（VCSEL）和边缘发射激光器中的结构。在某些情况下，也可以从相同的定量XS-EBIC数据中计算少数载流子扩散长度的估计值。

电子束感应电流EBIC的优势

• 非常适合在大面积设备中查找隐藏的局部故障站点。
• 能够确定横截面（XS）中的p-n结位置。

电子束感应电流EBIC的限制

• 样品中必须存在p-n结。
• 可接受的最大漏电流约为10uA，否则EBIC数据可能过于嘈杂，无法进行分析。

电子束感应电流 EBIC相关资源

• 网络研讨会：SEM-EDS 研讨会
• 应用说明：高级显微镜

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