电热汽化（ETV） 与电感耦合等离子体发射光谱法（ICP-OES）或电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS） 相结合，是一种强大的技术，可直接快速、直接测定各种样品中痕量和超痕量分析物的水平，无需样品制备或只需极少的样品制备。这种固体取样技术具有极高的灵敏度，可实现快速的化学分析。与基于雾化的样品引入系统相比，分析物传输效率高（25-80%）提高了灵敏度。
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