扫描电子显微镜(SEM)

扫描电子显微镜 (SEM) 提供样品表面和近表面的高分辨率和高景深图像。 SEM 是使用最广泛的分析工具之一,因为它可以快速提供极其详细的图像。 耦合到辅助 能量色散X射线光谱(EDS)探测器,SEM还提供几乎整个周期表的元素识别。

在光学显微镜无法提供足够的图像分辨率或足够高的放大率的情况下,康派斯使用 SEM 分析。 SEM还擅长生成详细的表面形貌图像。 应用包括故障分析、尺寸分析、过程表征、逆向工程和颗粒识别。

康派斯的专业知识和经验范围对于我们所服务的行业和客户而言是无价的。 面对面的服务确保了结果及其含义的良好沟通。 分析期间经常有客户在场,从而可以立即共享数据,影像和信息。

理想用途

  • 高分辨率表面地形图像
  • 元素微量分析和颗粒表征

优势强项

  • 快速,高分辨率的成像
  • 快速识别存在的元素
  • 出色的景深(光学显微镜的约 100 倍)
  • 多功能平台,支持许多其他分析技术
  • 低真空模式可以对绝缘和水合样品进行成像

缺点限制

  • 可能需要蚀刻平面样品以进行对比
  • 尺寸限制可能需要切割样品
  • 极限分辨率是样品化学和电子束稳定性的强大功能
  • 如果需要进行UHV表面分析,应首先进行,以避免SEM可能引入表面碳

技术规格

  • 检测到的信号: 二次和背向散射电子和 X 射线、光(阴极发光)和电子束感应电流 (EBIC)
  • 检测到的元素: BU(EDS模式)
  • 检测限: 0.1-1 at%
  • EDS化学深度分辨率: 0.1-3μm
  • 成像/制图: 有
  • 横向分辨率/探头尺寸: 10-30Å

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