扫描电子显微镜（SEM）提供样品表面和近表面的高分辨率和高景深图像。扫描电子显微镜SEM是使用最广泛的分析工具之一，因为它可以快速提供极其详细的图像。与辅助能量色散X射线光谱（EDS）探测器相结合，扫描电子显微镜SEM还可以对几乎整个元素周期表进行元素鉴定。

康派斯在光学显微镜无法提供足够的图像分辨率或足够高的放大倍率的情况下使用扫描电子显微镜SEM分析。扫描电子显微镜SEM还擅长生成详细的表面形貌图像。应用包括故障分析、尺寸分析、工艺表征、逆向工程和颗粒识别。

康派斯的专业知识和经验范围对于我们所服务的行业和客户来说是无价的。人对人服务确保结果及其影响的良好沟通。客户经常在分析过程中在场，从而可以立即共享数据、成像和信息。

扫描电子显微镜（SEM）是使用最广泛的分析工具之一，因为它可以快速提供极其详细的图像。结合微切刀的能力，它可以提供亚纳米分辨率的横截面图像，并缩短周转时间。

SEM理想用途

• 高分辨率地表形貌图像
• 元素微量分析和颗粒表征
• 在深入研究高级扫描电子显微镜TEM/STEM 成像之前进行体积剖面检查

SEM优势强项

• 快速、高分辨率成像
• 快速识别存在的元素
• 出色的景深（~光学显微镜的100倍）
• 支持许多其他分析技术的多功能平台
• 低真空模式可实现绝缘和水合样品的成像

SEM缺点限制

• 可能需要蚀刻平面样品以进行对比
• 尺寸限制可能需要切割样品
• 最终分辨率是样品化学性质和电子束稳定性的强大函数
• 如果需要进行特高压表面分析，应首先进行，以避免扫描电子显微镜SEM可能引入表面碳

SEM技术规格

• 检测到的信号：二次和背散射电子和X射线，光（阴极发光）和电子束感应电流（EBIC）
• 检测到的元素：B-U（EDS 模式）
• 检测限：0.1-1 at%
• EDS 化学深度分辨率：0.1-3 μm
• 成像/映射：是的
• 横向分辨率/探头尺寸：10-30 Å

SEM相关资源

• 网络研讨会：SEM-CL
• 网络研讨会：SEM-EDS
• 应用说明：高级显微镜

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