扫描声学显微镜(SAM)使用声波来检测和识别设备、组件和材料中的内部分层、空隙、材料密度变化、缺陷和许多其他异常。
扫描声学显微镜SAM对分层和材料密度变化的存在高度敏感,使用X射线照相,红外成像和其他非破坏性技术很难检测到这些变化。它可以检测亚微米气隙,缺陷分辨率为~5μm。
康派斯提供各种成像模式,允许操作员根据样品中特征的方向获得最佳的观看视角。此外,康派斯的扫描声学显微镜SAM系统结合了先进的软件,硬件功能和各种换能器,这使康派斯能够为我们的客户提供市场上最好的成像。
SAM理想用途
- 界面分层
- 接头、粘接和密封分析
- 空隙检测
- 裂纹检测 – 晶圆、芯片和封装级别
- 印刷电路板异常
- 薄膜、钎焊、焊接和其他界面的成像附着力
SAM优势强项
- 无损检测
- 亚微米分层检测能力 (<0.2 μm)
- 广泛的低到超高探头频率和焦距范围,可为各种材料和样品提供最佳的穿透力和分辨率成像
SAM缺点限制
- 浸没在去离子水中的样品
- 高、非常大或不规则形状的样品。平面结构样品效果最好
- 减少多层/界面的成像,特别是由于非平面界面、特征和粗糙度(例如倾斜的刻面)而导致的柔软或多孔材料和声音散射
SAM技术规格
- A、B 和 C 模式扫描
- SALI(扫描声层成像)
- 脉冲回波/反射和直通传输
- 支持行业规范和标准
- IPC / JEDEC,J-STD-020,J-STD-035
- Mil-STD 883,方法2030,方法2035
- NASA,PEM-INST-001
SAM主要应用
- 失效分析
- 产品可靠性
- IPC / JEDEC J-STD-020(MSL分类需要)
- Mil-STD 883,方法 2030,方法 2035
- NASA,PEM-INST-001
- 芯片级封装 (CSP) 检测
- 堆叠芯片成像
- 塑料封装 IC 检测
- 工艺验证
- 供应商资格
- 产品检验
- 质量管理
- 研究与开发
- 假冒检测
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