气体杂质分析
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全反射X射线荧光(TXRF)是一种无损元素调查技术,用于量化半导体晶片和薄膜的微量表面污染。TXRF是一种能量色散XRF,它使用非常浅的入射角(通常小于0.05°)来探测光滑反射表面的顶部~50Å。
该技术利用不同能量的多个X射线激发源来量化从Na到U的各种元素。对于1厘米的分析点,TXRF的最大优势之一是能够绘制晶圆整个表面上污染物的空间分布图。
本次网络研讨会旨在概述与半导体世界相关的TXRF基础知识,并演示我们如何利用该技术在表征基板和薄膜。
在本次网络研讨会中,我们将介绍:
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