随着近年来新技术的不断发展，此类设备和工艺的材料表征变得越来越具有挑战性。材料表征，包括化学/元素分析和结构分析，不仅需要在更高的灵敏度下进行，而且需要在更小的范围内进行。
对于结构分析，传统的基于XRD和SEM的EBSD一直以极高的精度提供材料结构信息。然而，直到最近，新兴的基于TEM的进动电子衍射（PED）技术已经开始将这种分析带到纳米尺度，这对于满足当今积极缩小尺寸的技术和工艺的纳米级结构分析需求至关重要。
在本应用笔记中，展示了各种器件（7nm EUV技术IC芯片和应变Si）中的晶粒取向映射和应变映射示例，以举例说明PED技术在纳米尺度上的材料结构分析能力。
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