这些ICP-OES和ICP-MS检测限是理论上的最佳情况，假设没有光谱干扰影响给定元素的最佳同位素或波长。对于任何给定的测定，实际方法检测限可以高出一个数量级或更多。以此为指导，而非绝对。

基于电感耦合等离子体（ICP）的分析技术可以定量测量材料的体积元素组成。在等离子体发射光谱（OES）中，将样品溶液引入电感耦合氩等离子体（ICP）的核心，其产生的温度约为9000K。在这些温度下，分析物原子和离子被热激发并以其特征波长发光。该光聚焦在光谱仪的入口狭缝上，并通过衍射光栅，将光分解成其组成波长的光谱。在光谱仪内，该衍射光随后被分离并按波长收集并放大以产生强度测量值，该强度测量值可以通过与校准标准品进行比较转换为元素浓度。

在等离子体质谱（MS）中，电感耦合氩等离子体（ICP）再次成为高温源，并耦合到四极杆质量分析仪。然而，与OES相比，ICP-MS中的等离子体用于产生离子，这些离子被加速到四极杆质量分析仪中。然后根据离子的质量电荷比分离和收集离子。然后可以识别和测量未知样品的成分。ICP-MS 对各种元素具有极高的灵敏度。

优势

• 批量化学分析技术，可在单个样品分析中同时测定多达 70 种元素。
• 线性动态范围超过几个数量级。
• 仪器适用于自动化，从而提高准确性、精度和吞吐量。

局限性

• 发射光谱很复杂，如果目标元素的波长非常接近另一个元素的波长，则可能存在元素间干涉。
• 在质谱分析中，某些元素的测定和定量会受到多原子物质、基质元素和大气元素干扰的影响。
• 待分析的样品必须在分析前完全消解或溶解，以确定感兴趣的元素。

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