FIB网络研讨会

近年来,随着半导体材料科学中功能单元的尺寸越来越小,高质量的失效分析技术变得越来越重要。先进的聚焦离子束 - 扫描电子显微镜(FIB-SEM)技术可以提供精确的横截面成像分析以及高质量的TEM样品制备。此外,还开发了Cryo载物台,基于iFast的软件等功能部件,以满足在正常条件下难以分析的各种材料和结构的需求。 在本次网络研讨会中,我们将讨论用于横截面成像故障分

阅读:23711+ 时间:2023-04-11 源于:68 作者:ccpst 电话:400-9621-929

近年来,随着半导体材料科学中功能单元的尺寸越来越小,高质量的失效分析技术变得越来越重要。先进的聚焦离子束 - 扫描电子显微镜(FIB-SEM)技术可以提供精确的横截面成像分析以及高质量的TEM样品制备。此外,还开发了Cryo载物台,基于iFast的软件等功能部件,以满足在正常条件下难以分析的各种材料和结构的需求。

在本次网络研讨会中,我们将讨论用于横截面成像故障分析和TEM样品制备的FIB-SEM方法,包括基本原理,应用和高级功能部件。将强调冷冻阶段FIB,自动映射和自动切片和视图 - 3D重建。

在本次网络研讨会中,我们将介绍:

  • FIB/SEM基础知识简介
  • 一般应用
  • 高级应用,如自动切片和视图、3D 重建、自动映射和 CryoFIB

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