透射电镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)在成像上的区别

本文通过五个问题探讨了 透射电镜(TEM) 和 扫描电子显微镜(SEM) 在成像原理上的差异、TEM与X射线衍射(XRD)在分析上的不同、制备10nm以下碳量子点样品的注意事项、薄膜样品制备过程中的预减薄和终减薄技术,以及TEM数据分析的方法。首先,解释了TEM依赖于透射电子和样品的质厚衬度及衍射衬度形成图像,而SEM则利用反射电子和样品表面的倾斜角度差异。其次,讨论了TE

阅读:10181+ 时间:2024-10-09 源于:72 作者:ccpst 电话:400-9621-929

本文通过五个问题探讨了透射电镜(TEM)扫描电子显微镜(SEM)在成像原理上的差异、TEM与X射线衍射(XRD)在分析上的不同、制备10nm以下碳量子点样品的注意事项、薄膜样品制备过程中的预减薄和终减薄技术,以及TEM数据分析的方法。首先,解释了TEM依赖于透射电子和样品的质厚衬度及衍射衬度形成图像,而SEM则利用反射电子和样品表面的倾斜角度差异。其次,讨论了TEM/SEM中利用特征X射线进行元素分析的原理,与XRD利用晶体结构对X射线衍射的差异。接着,指出了制备碳量子点样品时的分散均匀性和防止样品损伤的重要性。此外,描述了薄膜样品制备中使用胶粘剂和超声分离的方法,以及通过光学显微镜评估样品质量的技巧。最后,介绍了Digital Micrograph软件在TEM数据分析中的应用,包括晶格常数的确定、衍射斑点间距的测量和理论值对比。这些信息对于TEM和SEM用户在样品制备和数据分析方面具有指导意义。

关键词:透射电镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、样品制备、数据分析

一、TEM和SEM在成像上的区别

答:透射电子显微镜(TEM)的成像依赖于透射电子。加速的电子束能够穿透薄膜样品并到达探测屏,图像的衬度主要由质厚衬度(样品的元素类型、含量和厚度差异)和衍射衬度(晶体取向不同)产生。相对而言,扫描电子显微镜(SEM)的成像则基于反射电子(二次电子)。加速的电子经过样品表面反射后进入探测屏,样品表面的凹凸不平和倾斜角度差异导致电子密度的变化,从而形成图像的衬度。此外,前置背散射图像也会受到元素类型和含量的影响,俄歇电子图像则反映元素的类型和含量差异。

二、TEM和XRD的区别

答:在TEM和SEM中,电子束轰击样品时,不同元素会产生特征X射线,能谱探头可以探测这些X射线的能量,从而判断元素类型及其含量。而X射线衍射(XRD)则利用铜靶或钴靶产生强度和波长一致的特征X射线,探测材料的晶体结构和取向。XRD探测器的角度是固定的,入射X射线的角度变化会导致不同晶面产生衍射。TEM和SEM则主要提供元素含量比,而XRD则提供晶体结构信息。

三、制备10nm以下的碳量子点时的注意事项

答:在制备10nm以下的碳量子点时,需将样品分散在特定溶液中,并滴加到超薄碳膜上,自然晾干后通过样品杆放入TEM进行观察。制样时要注意分散液的浓度,确保样品均匀分布,防止叠加影响成像或稀疏至难以观察。滴样后应尽量自然晾干,以避免损坏碳膜,并在放入TEM时注意光强,缩短观察时间以防样品损坏。

四、薄膜样品的制备过程

答:薄膜样品的制备通常采用502胶将样品粘贴在平整的马氏体不锈钢块上。超声处理后,样品与钢块可轻松分离。样品的厚度可通过千分尺测量,采用逐步打磨的方法将样品从0.5mm减薄至50μm。最终的减薄厚度通常不需精确测量,只要在TEM中能观察到清晰的图像即可。通过光学显微镜观察样品的穿孔边缘,平滑的过渡表明样品质量较好。

五、TEM数据分析的方法

答:TEM数据分析常用Digital Micrograph软件。分析步骤包括:确定晶格常数和晶面的面间距,测量多个衍射斑点间距并计算面间距,与理论值进行对比;测量不同衍射斑对应晶面的夹角,并与理论值进行对比。在DM软件中,L表示晶面间距的倒数,1/L即为晶面间距的数值,R则表示所画直线与水平方向的夹角,通过夹角的相加或相减可确定不同衍射斑对应晶面的夹角。

在透射电子显微镜(TEM)中,确定样品的精确厚度是一个重要的步骤,以下是几种常用的方法:

  1. 等厚条纹法:这是最常用的方法之一。通过进入双束模式,观察样品中的等厚条纹,条纹的周期与样品厚度相关。找到第一条暗纹或亮纹后,可以通过条纹的数量来估算样品的厚度。

  2. 污染点分离法:通过在样品上下表面各放置一个污染点,调整样品倾斜角度使二者重合,然后测量转过的角度以几何方法计算样品厚度。

  3. 汇聚束电子衍射法(CBED):通过分析CBED中衍射盘的明暗条纹,计算出样品的厚度。这种方法不需要事先知道消光距离,能够避免因条纹判断错误带来的问题。

  4. 能量损失谱法(EELS):通过计算EELS中零损失峰的积分强度与损失谱总积分强度的比值,可以估算样品的厚度。

  5. FIB(聚焦离子束)法:使用FIB直接切割样品后在高分辨率扫描电子显微镜中拍照,测量样品的厚度。

以上方法各有优缺点,选择合适的方法取决于样品的特性和实验要求。确保样品的厚度在适当范围内对于获得准确的TEM数据至关重要。

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