一文了解电子能量损失谱(EELS)原理及特点

电子能量损失光谱(EELS)是一种在透射电子显微镜(TEM)中使用的分析技术,它通过测量电子束与样品相互作用后能量损失的电子来获取材料的化学和结构信息。EELS的原理基于电子与样品原子的非弹性散射事件,这些事件导致电子损失特定量的能量,这些能量损失与样品的元素组成、化学状态和结构特性直接相关。EELS能够检测从轻元素到重元素的广泛元素,并且具有纳米级别的

阅读:10150+ 时间:2024-09-23 源于:53 作者:ccpst 电话:400-9621-929

电子能量损失光谱(EELS)是一种在透射电子显微镜(TEM)中使用的分析技术,它通过测量电子束与样品相互作用后能量损失的电子来获取材料的化学和结构信息。EELS的原理基于电子与样品原子的非弹性散射事件,这些事件导致电子损失特定量的能量,这些能量损失与样品的元素组成、化学状态和结构特性直接相关。EELS能够检测从轻元素到重元素的广泛元素,并且具有纳米级别的空间分辨率,使其成为研究纳米材料和界面现象的理想工具。

EELS的应用范围广泛,包括半导体材料的带隙测量、陶瓷和超导体的界面分析、碳基材料的电子结构研究、聚合物和生物组织的化学组成分析等。EELS的特点在于其高灵敏度和高空间分辨率,能够提供元素分布图、化学状态分析以及结构信息。此外,EELS的光谱成像功能允许对样品进行二维和三维的化学和结构表征。

电子能量损失谱(EELS)原理

当入射电子束照射试样表面时,将会发生入射电子的背向散射现象,背向散射返回表面的电子由两部分组成,一部分没有发生能量损失,称为弹性散射电子,另一部分有能量损失,称为非弹性散射电子。

在非弹性散射电子中,存在一些具有一定特征能量的俄歇电子,其特征能量只同物质的元素有关,如果在试样上检测这些俄歇电子的数目按能量分布,就可以标定物质的各元素组成,称为俄歇电子能谱分析技术。

如果其特征能量不但同物质的元素有关,而且同入射电子的能量有关,则称它为特征能量损失电子。

如果在试样上检测能量损失电子的数目按能量分布,就可获得一系列谱峰,称为电子能量损失谱,利用这种特征能量电子损失谱进行分析,称为电子能量损失谱分析技术。

电子能量损失谱(EELS)特点

1.电子能量损失谱(Electron energy loss spectroscopy,简称EELS)可以实现横向分辨率10 nm,深度0.5~2 nm的区域内成分分析;

2.具有X射线光电子能谱(X-ray photo spectroscopy,简称XPS)所没有的微区分析能力;

3.具有比俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy,简称AES)更为表面和灵敏的特性;

4.更重要的是能辨别表面吸附的原子、分子的结构和化学特性,而成为了表面物理和化学研究的有效手段之一;

电子能量损失谱(EELS)的电子能量损失过程

1.激发晶格振动或吸附分子振动能的跃迁,属于声子激发或吸收,损失能量在几十至几百meV范围;

2.体等离子体或表面等离子体(电子气)激发,或价带跃迁,能量损失值在1~50 eV左右;

3.芯能级电子的激发跃迁,能量在102~103 eV量级;

4.自由电子激发(二次电子),约50 eV以下:

韧致辐射(连续X射线)。

最后两个激发过程只形成谱的背底。

电子所损失的能量使物体产生各种激发类型

1)单电子激发包括价电子激发和芯能级电子激发。

2)等离子体激元激发。

3)声子激发。

4)表面原子、分子振动激发。

 

电子能量损失谱(EELS)的分析和应用

 

一、EELS可研究以下问题:

1)吸附分子的电子跃迁;

2)通过对表面态的研究来研究薄膜镀层的光学性质、界面状态和键合情况;

3)通过对吸附物质振动的研究可以了解吸附分子的结构对称性、键长度和有序问题以及表面化合物的鉴别;

4)通过表面声子来研究表面键合和弛豫;

5)通过对金属和半导体的光学性质的研究,了解空间电荷区中的载流子浓度分布及弛豫过程等。

EELS技术在材料科学、纳米技术、电子器件、生物医学等领域有着广泛的应用,它为研究者提供了一种强大的工具,以深入理解材料的内在特性和功能。随着技术的进步,EELS的分辨率和灵敏度将继续提高,进一步推动相关领域的研究和发展。

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