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残余气体分析（RGA）检测中心

残余气体分析（RGA）的基本概念 残余气体分析（Residual Gas Analysis，简称RGA）是一项重要的分析技术，旨在检测密封器件内部的气氛成分及含量。它也常被称作内部水汽分析（Internal Moisture Analysis，IVA）或内部蒸气分析（Internal Vapor Analysis），这是因为水汽等气体对器件的性能和寿命具有显著影响。 残余气体分析（RGA）的应用背景 密封电子元器件的内部气氛对其性能、寿命和可靠

阅读：10084+ 时间：2024-05-24 源于：82 作者：ccpst 电话：400-9621-929

残余气体分析（RGA）的基本概念

残余气体分析（Residual Gas Analysis，简称RGA）是一项重要的分析技术，旨在检测密封器件内部的气氛成分及含量。它也常被称作内部水汽分析（Internal Moisture Analysis，IVA）或内部蒸气分析（Internal Vapor Analysis），这是因为水汽等气体对器件的性能和寿命具有显著影响。

残余气体分析（RGA）的应用背景

密封电子元器件的内部气氛对其性能、寿命和可靠性至关重要。正常的空气中，氮气、氧气和其他稀有气体、二氧化碳、水蒸气等按一定比例共存。然而，如果密封器件内部的水汽含量过高，或者存在其他有害元素，将会对器件的性能和稳定性造成负面影响。因此，测定水汽含量以及其他气体的成分对电子元器件的性能维护至关重要。

残余气体分析（RGA）的主要特点

  1. 定量测量：使用质谱法精确测量金属或陶瓷密封器件内的气体气氛，提供准确的定量数据。

  2. 反映密封质量：通过测量密封器件内的气氛，能够反映密封过程的质量，包括密封气氛（如氮气）、水汽含量、氧氩比、氟碳化合物以及氢气等。

  3. 破坏性测试：RGA测试通常是一种破坏性测试，意味着测试后样品可能无法再次使用。

残余气体分析（RGA）的设备原理

RGA所使用的内部气氛分析仪基于分压力质谱分析法。其工作原理大致如下：

  1. 取样：从密封器件内部取样，利用压力差将样品内的气氛引入分析系统。

  2. 电离：分析系统内的离子源将气体分子电离为离子。

  3. 质量分离：离子化的分子进入四极质谱仪的分析器，通过X、Y方向电场的作用实现质量分离。

  4. 检测与计数：检测器测量不同质量离子的分压强，进而达到气氛成分分析的目的。

 

残余气体分析（RGA）作为一种重要的分析技术，为密封元器件的性能和可靠性评估提供了有力工具。通过精确测量密封器件内部的气氛成分和含量，可以及时发现潜在问题，优化密封工艺，提高电子元器件的性能和寿命。随着科技的不断进步，RGA技术将在更多领域得到应用，为相关领域的发展提供有力支持。

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