GDMS(辉光放电质谱法)测定合金钢中各元素的相对灵敏度因子

辉光放电质谱法测定合金钢中各元素的相对灵敏度因子 采用辉光放电质谱法(GDMS)分析合金钢中元素相对灵敏度因子(RSF),优化放电电流、气体流量和预溅射 时间等条件,排除质谱干扰并选定合适同位素。研究不同放电条件对元素 RSF 的影响,并比较不同基体下 RSF 的差 异。通过合金钢标准样品建立回归曲线,获得校正后的相对灵敏度因子 (RSFsteel),用于定量分析。结果表明

阅读:10125+ 时间:2024-07-24 源于:95 作者:ccpst 电话:400-9621-929

辉光放电质谱法测定合金钢中各元素的相对灵敏度因子

采用辉光放电质谱法(GDMS)分析合金钢中元素相对灵敏度因子(RSF),优化放电电流、气体流量和预溅射 时间等条件,排除质谱干扰并选定合适同位素。研究不同放电条件对元素 RSF 的影响,并比较不同基体下 RSF 的差 异。通过合金钢标准样品建立回归曲线,获得校正后的相对灵敏度因子 (RSFsteel),用于定量分析。结果表明,放电气 体流量是元素 RSF 的主要影响因素,轻元素 RSF 随放电气体流量增加而减小,重元素 RSF 随放电气体流量增加而 增大。合金钢基体下的大部分元素 RSF 小于其标准 RSF,经 RSFsteel 校正的测量值与参考值间的相对偏差低于 10%, 相对标准偏差(RSD)小于 5%,准确度和精密度良好。

关键词: 辉光放电质谱法; 合金钢; 相对灵敏度因子

辉 光 放 电 质 谱 法( glow discharge mass spectrometry,GDMS是分析高纯金属、合金和半导 体等材料中微量元素的有效方法 [ 1-4]。检测限低, 基体效应小,检测线性范围广是其优势。GDMS 采 用固体进样,样品前处理简单,引入污染小,可进行 无标样半定量分析[5] 。GDMS 仪器自带一套标准相 对灵敏度因子(relative sensitivity factors,RSF),用 于结果校正,半定量分析常用此方法。虽然 GDMS 基体效应较小,但对于需要准确定量时,需考虑不 同基体各元素的信号响应差异,此时基体效应对 RSF 的影响不可忽视[6-8]。除了基体效应外,有研究 表明,放电条件改变也对 RSF 产生影响 [9-10]。因此 用 GDMS 做定量分析时,需要用基体相同的标准物 质对 RSF 进行校正[ 11-13]。合金钢是一种掺杂多种 元素的铁基材料[ 14],其基体组成较为复杂,不同成 分的合金钢样品合金元素存在差异,其是否也存在 RSF 的差异值得研究。因此,本文将合金钢作为分 析对象,测定三块合金钢标准样品,考察基体和不同放电条件对 RSF 的影响,并通过建立回归曲线获得 RSFsteel,用于定量分析并验证其准确性。

1 实验部分

1.1 仪器与材料

辉光放电质谱仪(型号:Element GD,);乙醇:分析纯;氩气:体积分数> 99.999%;三 块 合 金 钢 标 准 物 质 :GBW01666, GBW01667,GBW01670。

1.2 实验方法

将样品表面抛光,依次用 10% 硝酸、超纯水和 无水乙醇清洗样品,除去表面污染,并用氩气吹干 备用。测试前用黄铜参考样品校正仪器质量峰位置。 同时也要对检测器进行校正,保证不同检测器的信 号稳定一致。调节仪器参数,分别测定 3 块合金钢 样品,对结果进行分析。

1.3 仪器工作参数

调节仪器各参数,获得最佳实验条件,该试验 主要工作参数见表 1。

表 1 仪器的工作参数

放电电压/V

放电电流/mA

气体流量/(mL·min–1)

提取电压/V

聚焦电压/V

峰型电压/V

冷却温度/℃

分辨率

1 000

40

400

-2000

-941

130

10

4 000

2 结果与讨论

2.1 仪器条件优化

为达到最佳测量条件,需要对仪器条件进行优 化,影响因素主要有放电电流、放电气体流量和预 溅射时间。为了兼顾不同类型元素,本试验选择了 涵盖中高低质量数和不同含量范围的 C、S、Cr、Cu、 Sn、Pb 共 6 个元素进行分析。

在 400 mL/min 放电气体流量条件下,改变放电 电流,观察元素信号强度随放电电流的变化。通过 分析可知,元素信号强度随电流增加而增强,灵敏 度也提高。但电流过大会使样品在阳极帽上沉积加 快,造成短路,同时信号稳定性也下降,因此电流不 宜过大。在 40 mA 下,基体元素 Fe 的中分辨信号 强度在 1010 cps 以上,灵敏度已满足要求,因此,实 验选择的放电电流为 40 mA。

图 1 为元素信号强度随放电气体流量的变化曲 线。分析可知,随放电气体流量增加,Cr、Cu、Sn、 Pb 的信号强度先升后降,最大值均在 400 mL/min。

对于 C 和 S 来说,当气体流量超过 400 mL/min 时, 信号强度虽略有上升但趋于稳定 。综上分析, 400 mL/min 是较为合适的放电气体流量。

 

图 1 放电气体流量对元素信号强度的影响

样品分析前需要进行预溅射以去除表面污染, 获得准确稳定的信号。在优化的放电电流和放电气 体流量的条件下,设定溅射时间 40 min,每隔 5 min 对元素信号强度及其稳定性进行测定。分析可知,

各元素在溅射 25 min 后信号强度基本稳定,但在溅 射 30 min 后信号略有下降,这是因为样品在取样锥 孔上沉积过多而导致堵塞,信号强度下降。图 2 为 各元素强度的 RSD 随溅射时间的变化,可知元素 RSD 均小于 5%,稳定性较好 。综上分析,选择 25 min 为预溅射时间。

 

图 2 预溅射时间对元素信号强度稳定性的影响

2.2 质谱干扰和同位素选择

辉光放电质谱的干扰来源有:1)基体元素 Fe 和主要合金元素 Cr、Ni 等与放电气体 Ar 形成的多 原子离子干扰;2)空气中的 O、N 等形成的多原子 离子干扰;3)基体元素的多电荷离子干扰等。在选 择同位素时,应选择质谱干扰小且丰度大的同位素 进行分析。比如,16O16O 对32S 产生干扰,54Fe++对27Al 产生干扰,但该干扰在中分辨下即可分离。58Ni 受 到58Fe 严重干扰,虽然58Ni 同位素丰度较高,但需选 用丰度较小的60Ni 作为测定同位素。Mo 的各个同 位素受到基体 Fe 和主要合金元素与 Ar 形成的多原 子离子干扰,且无法通过提高分辨率加以分离,95Mo 主要受到55Mn40Ar 的干扰,而 Mn 非主要元素,此 干扰可忽略,因此选择95Mo 作为测定同位素。其他 元素选用其丰度最大的同位素。本实验选取的同位 素见表 2。

表 2 所选元素的同位素和分辨率

元素

质量数

丰度/%

分辨率

 

元素

质量数

丰度/%

分辨率

B

11

80.10

Medium

 

Mn

55

100

Medium

C

12

98.90

Medium

 

Ni

60

26.10

Medium

Al

27

100

Medium

 

Cu

63

69.17

Medium

Si

28

92.23

Medium

 

As

75

100

Medium

P

31

100

Medium

 

Mo

95

15.92

Medium

S

32

95.02

Medium

 

Sn

120

32.59

Medium

Ti

48

73.80

Medium

 

Ce

140

88.48

Medium

V

51

99.75

Medium

 

W

184

30.67

Medium

Cr

52

83.79

Medium

 

Pb

208

52.40

Medium

 

2.3 相对灵敏度因子(RSF)

辉光放电质谱仪定量分析时,待测元素和基体 元素离子强度比值需要相对灵敏度因子(RSF)进行 校正,才能得到最终准确结果。如下式所示:

公式中:Cx和Cm——待测元素和基体元素含量;

Ix和Im——待测元素和基体元素丰度校正后 的离子强度;

RSFx和RSFm——待测元素和基体元素的相 对灵敏度因子。

GDMS 仪器自带一套标准 RSF,用于不同基体 样品的测定,以 Fe 元素 RSF 为 1,其他元素与 Fe元素的比值为其标准 RSF:

在定量分析中,需要考虑基体的不同,应用相 同基体标准样品的元素离子强度比和参考值来计 算 RSF,如下式所示:

式中:Cs ——标准样品中待测元素的参考值;

RSFx=m——待测元素在基体下的相对灵敏度 因子。

由上述公式可知,元素离子强度比是影响 RSF 的主要因素,而离子强度会受到放电条件影响,不 同元素对放电条件响应情况也存在差异,因此在不同放电条件下对 RSF 的变化进行分析很有必要。

2.3.1 放电电流对 RSF 的影响

图 3 为不同元素的 RSF 随放电电流的变化。 由图 3 可知,放电电流改变对大部分元素的 RSF 影 响较小,这是由于放电电流增加虽然使得离子强度 增强,但对待测元素与基体元素而言这个作用是相 同的,并且增强的幅度也较接近,因此各元素 RSF 值保持相对稳定。

 

图 3 RSF 随放电电流的变化

2.3.2 放电气体流量对 RSF 的影响

图 4 为不同元素的 RSF 随放电气体流量的变 化。由图可知,各元素的 RSF 随放电气体流量改变 而变化显著。轻元素(C,S)RSF 随放电气体流量增 加而减小,重元素(Sn,Pb)RSF 随放电气体流量增 加而增大,而中等质量数的元素(Cr,Cu)RSF 保持 相对稳定。分析其原因,气体流量增大,使得 Ar 等 离子体密度越大,电离效率得到提高,离子强度增 强,轻元素的增强幅度大于重元素,其离子强度比 增大,RSF 减小。而当放电气体流量增加到一定程 度后,此时电离效率增加已不明显,反而较大的气 体流速会阻碍离子吸收,重元素阻碍作用大于轻元 素,导致重元素离子强度下降较轻元素要快得多,

 

其离子强度比减小,RSF 增大。中等质量数的元素 两者影响互相抵消,其 RSF 保持相对稳定。

2.3.3 预溅射时间对 RSF 的影响

在优化的放电电流和放电气体流量的条件下, 观察 RSF 随预溅射时间的变化。由图 5 可知,元素 的 RSF 随预溅射时间变化相对稳定,预溅射时间 对 RSF 影响较小。

 

2.3.4 合金钢基体对 RSF 的影响

分别对三块合金钢标样进行单点校正,得到在 三个合金钢基体下的 RSF,部分元素的 RSF 结果如 图 6 所示。其中,RSFstd 为仪器自带的标准 RSF, RSF1、RSF2 和 RSF3 分 别 为 三 块 合 金 钢 标 样 (GBW01666,GBW01667,GBW01670)的 RSF。通 过三块合金钢的 RSF 值之间比较,可以看出,各元 素 RSF 值变化不大,这是由于合金钢的主成分 Fe 含量在 90%~93% 之间,其他元素虽有差异,但含量 较低影响较小。但三块合金钢的 RSF 值与 RSFstd 差别较大,除 C 的 RSF 值低于 RSFstd 外,其他元素 的 RSF 值均高于 RSFstd,说明合金钢基体总体上减 弱了离子强度比,使得真实 RSF 是增大的,此时用 RSFstd 进行定量分析会产生较大误差。因此,对于合金钢而言,需要按符合基体要求的 RSF 值来定量 计算。

针对合金钢样品,采用标样多点校正的方法以 减小基体差异带来的影响和保证不同浓度范围的定 量结果的准确性。以离子强度比(IBR)为 x,以参考

 

值(Cs)为y,做线性回归,得到回归方程:y = ax+ b, 则回归系数 a 即为 RSF。用三块合金钢标样进行 多点校正,得到各元素的回归方程和 RSFsteel,如表 3 所示。

 

表 3 各元素的回归方程和 RSF

元素

线性回归方程

RSFsteel

 

元素

线性回归方程

RSFsteel

B

y = 5.306 8x -0.326 8,R = 0.996 8

5.31

 

Mn

y = 1.273 9x + 0.009 1,R = 0.999 4

1.27

C

y = 6.642 9x + 0.0016,R = 0.998 6

6.64

 

Ni

y = 1.404 2x + 0.026 1,R = 0.999 7

1.40

Al

y = 2.542 8x + 0.313 6,R = 0.999 4

2.54

 

Cu

y = 3.424 1x + 0.000 4,R = 0.999 8

3.42

Si

y = 3.3013x + 5.912 7,R = 0.999 8

3.30

 

As

y = 5.578 2x + 2.395 4,R = 0.999 8

5.58

P

y = 3.979 4x -2.7419,R = 0.999 3

3.98

 

Mo

y = 1.373 1x -0.005 6,R = 0.999 8

1.37

S

y = 4.463 0x -4.320 8,R = 0.999 3

4.46

 

Sn

y = 1.761 1x + 0.892 6,R = 0.999 9

1.76

Ti

y = 0.840 3x + 0.353 6,R = 0.999 5

0.84

 

Ce

y = 1.858 9x + 0.0516,R = 1.000 0

1.86

V

y = 0.858 5x + 0.0012,R = 0.998 0

0.86

 

W

y = 2.001 1x + 0.006 0,R = 0.999 7

2.00

Cr

y= 1.805 2x -0.005 7,R = 0.999 7

1.81

 

Pb

y = 1.762 1x + 0.115 7,R = 0.999 8

1.76

在优化条件下,对 GBW01667合金钢样品重复 测量 6 次,得到离子强度比,用表 3 中 RSFsteel 进行 校正后的测量值如表 4 所示。由表 4 可知,校正后

的测量值和参考值较为接近,元素相对偏差低于 10%,大 部 分 元 素 RSD 均 在 5% 以 下( 除 元 素 Ce 外),结果具有良好重复性。

表 4 GBW01667 合金钢GDMS 分析结果

元素

参考值/%

测量值/%

RSD(n=6)/%

 

元素

参考值/%

测量值/%

RSD(n=6)/%

B

0.006 1

0.005 8

4.4

 

Mn

0.626

0.608

0.7

C

0.162

0.151

2.6

 

Ni

3.29

3.25

1.0

Al

0.033 0

0.034 6

2.2

 

Cu

0.314

0.302

1.3

Si

0.191

0.182

4.2

 

As

0.019 0

0.018 5

2.2

P

0.044 0

0.042 4

2.3

 

Mo

0.331

0.335

1.1

S

0.009 6

0.009 9

4.9

 

Sn

0.045 0

0.043 4

1.9

Ti

0.227

0.225

1.2

 

Ce

0.018 0

0.019 0

6.7

V

0.215

0.209

0.9

 

W

0.457

0.451

1.2

Cr

3.03

2.93

0.7

 

Pb

0.000 9

0.000 9

2.0

 

本文利用 GDMS 法对合金钢元素 RSF 进行分 析,研究了不同放电条件和不同基体对 RSF 的影响, 并采用多点校正建立回归方程法获得 RSFsteel,对测 量结果进行校正。结果表明元素 RSF 主要受放电 气体流量影响,不同质量数的元素 RSF 的变化存在 显著差异,轻元素 RSF 随放电气体流量增加而减小, 重元素 RSF 随放电气体流量增加而增大,而中等质

量数的元素 RSF 保持稳定。合金钢基体的大部分 元素 RSF 小于其标准 RSF,需要获得合金钢基体下 的 RSF 进行定量分析。采用经合金钢标样校正的 RSFsteel 分析样品,其测量结果和参考值一致性较好, 该方法具有良好的准确度和精密度,其定量结果是 可靠的。

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