核反应分析(NRA)

核反应分析(NRA)用于测量薄膜中的低Z元素(例如碳,氮,氧和硼)。 在NRA分析过程中,初级弹丸引起与薄膜中低Z核的核反应,从而导致具有特定核反应(即特定元素)特征的动能的粒子弹出。

很少有实验室可以在商业上提供 NRA 或匹配康派斯的经验深度和广度、准确的数据和个人对个人的服务。

NRA可用于定量测量薄膜中B,C,N,O和Li的总浓度。 与使用NRA相比,使用NRA可以以低得多的浓度测量这些元素俄歇电子能谱(AES,Auger)。 通过与RBS组合进行NRA,可以确定薄膜中轻元素的浓度。

理想用途

  • 测量薄膜中低水平的B,C,N,O和Li

优势强项

  • 非破坏性成分分析
  • 没有标准的定量
  • 整个晶圆分析(最高300 mm)
  • 导体和绝缘体分析
  • 低Z元件灵敏度

缺点限制

  • 大分析区域(直径约 1-2 毫米)
  • 没有深度解析
  • 每个元素都需要特定的射弹,因此根据感兴趣的元素可能需要进行多次测量

技术规格

  • 检测到的元素: C,N,O,B,Li
  • 检测限: 0.5 – 2 at%
  • 深度分辨率: 没有
  • 成像/制图: 没有
  • 横向分辨率/探头尺寸:〜1-2 毫米

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