服务介绍
晶圆应力检测是半导制造过程中极为重要的一环。 传统上晶圆的内应力大多都不是直接测量的，而是通过曲率法间接进行测量的，也就是用各种办法测量出品圆的形变程度(例如翘曲度)，再通过几何形变与应力之间著*的斯托尼方程(StoneysEquation)计算出晶圆的应力。 上图用拉曼光谱法测量半片6时SiC应力分布。(a)未打开真空吸气，样品自然放置在样品盘上，有翘曲但应力分布均匀
服务范围全国
检测周期5-7个工作日，可加急
相关资质可提供CMA、CNAS检测报告
服务模式快递寄样、现场取样、人工送样
服务对象企事业单位、高等院校、科研院所
服务方向采购销售、竞标投标、生产研发、科研数据、诊断优化、司法服务
检测标准国家标准、行业标准、企业标准、地方标准、国外标准、非标定制
服务内容
晶圆应力测试是半导制造过程中极为重要的一环。传统上晶圆的内应力大多都不是直接测量的，而是通过曲率法间接进行测量的，也就是用各种办法测量出品圆的形变程度(例如翘曲度)，再通过几何形变与应力之间著*的斯托尼方程(Stoney'sEquation)计算出晶圆的应力。
上图用拉曼光谱法测量半片6时SiC应力分布。(a)未打开真空吸气，样品自然放置在样品盘上，有翘曲但应力分布均匀;(b)打开真空吸气将样品吸牢在样品盘上，样品中间部位明显出现应力集中区域(伪彩色为红色的区域)。
如图所示，采用共焦方法在样品表面逐点采集SiC拉曼光谱，并对777 cm-1附近的特征峰进行拟合，。通过峰位的移动计算应力的大小，进而得出在整个样品上的分布。我们可以看到未开吸气、样品自然放置的时候，虽然有翘曲但应力分布在整个表面是均匀的;而当打开真空吸气将样品吸牢时，虽然翘曲降低、样品被吸平了，但是中央部分出现了明显应力集中的区域。
从原理上，这种方法测应力，直接反映的就是晶格共价键的形变对声子谱造成的影响，从而与位错等缺陷引起的塑性形变没有直接的关系。当然，对这么大且有翘曲的样品进行拉曼光谱扫描成像的测试，没有带激光自动聚焦跟踪表面功能的自动化扫描系统的支持是不可能的，而这也正是我司面向半导体工业的R1系列晶圆级共焦拉曼光谱仪的主要特色之
晶圆应力测试-设备：
晶圆薄膜应力测量仪设备具备三维翘曲（平整度）、薄膜应力、纳米轮廓、宏观缺陷成像等检测功能，适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、玻璃及陶瓷晶圆生产
晶圆应力测试-原理：
1、晶圆制程中会在晶圆表面反复沉积薄膜，基板与薄膜材料特性的差异导致晶圆翘曲，翘曲和薄膜应力会对工艺良率产生重要影响。
2、采用结构光反射成像方法测量晶圆的三维翘曲分布，通过翘曲曲率半径测量来推算薄膜应力分布，具有非接触、免机械扫描和高采样率特点，12英寸晶圆全口径测量时间低于30s。
3、通过Stoney公式及相关模型计算晶圆应力分布。
晶圆应力测试-优势
1、 对各种晶圆的表面进行一次性非接触全口径均匀采样测量
2、简单、精确、快速、可重复的测量方式，多功能
3、强大的附加模块：晶圆加热循环模块（最高400度）；表面粗糙度测量模块；粗糙表面晶圆平整度测量模块
晶圆应力测试-适用对象
2 寸- 8 寸/12 寸抛光晶圆（硅、砷化镓、碳化硅等）、图形化晶圆、键合晶圆、
封装晶圆等；液晶基板玻璃；各类薄膜工艺处理的表面
晶圆应力测试-适用领域
1、半导体及玻璃晶圆的生产和质量检查
2、半导体薄膜工艺的研究与开发
3、半导体制程和封装减薄工艺的过程控制和故障分析
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保健食品功效宣称：27类功能获官方认可
根据《中华人民共和国食品安全法》及市场监管总局发布的《允许保健食品声称的保健功能目录（非营养素补充剂）》，保健食品可依法宣称以下27类功能，但需满足严格条件：
- 基础健康功能：增强免疫力、抗氧化、辅助降血脂、辅助降血糖、辅助降血压、改善睡眠、促进泌乳、缓解体力疲劳、提高缺氧耐受力、对辐射危害有辅助保护功能。
- 特定人群健康支持：改善生长发育、增加骨密度、改善营养性贫血、对化学性肝损伤的辅助保护作用、祛黄褐斑、改善皮肤水分、改善皮肤油分。
- 消化系统功能：调节肠道菌群、促进消化、通便、对胃黏膜损伤有辅助保护功能。
- 其他功能：清咽、减肥、促进排铅。
合规要求：
- 科学依据：所有宣称需通过人体试食试验、动物实验等科学验证，并提交权威机构报告。
- 标签规范：必须标注“保健食品不是药物，不能代替药物治疗疾病”警示语，且不得夸大功能范围。
- 审批流程：需经国家市场监管总局注册或备案，取得“蓝帽子”标识后方可销售。
普通食品功效宣称：严格受限，仅限基础营养与感官描述
普通食品（非保健食品）的功效宣称受到《食品安全法》《广告法》等法规严格限制，禁止宣称保健功能或疾病治疗功能，仅允许以下描述：
- 营养信息：
- 可标注“高钙”“低脂”“无糖”等，但需符合GB 28050-2011《预包装食品营养标签通则》要求，并在营养成分表中标示具体含量及NRV%值。
- 示例：某牛奶标注“高钙”，需满足每100ml含钙量≥120mg，且NRV%≥15%。
- 感官特性：
- 可描述口感、风味等，但需避免误导消费者。例如，“口感鲜美”需与实际体验一致，不得使用“精神满满”“元气满满”等暗示健康功效的词汇。
- 原料来源与品质：
- 可标注“澳大利亚奶源”“非转基因大豆”等，但需提供进口证明、检测报告等文件支持。
- 示例：某食用油标注“非转基因”，需提供第三方认证机构出具的转基因成分检测报告。
企业合规建议：三步规避功效宣称风险
- 明确产品定位：
- 普通食品：仅描述基础营养与感官特性，避免使用“增强免疫力”“改善睡眠”等保健功能词汇。
- 保健食品：严格依据注册或备案功能进行宣称，不得超范围宣传。
- 科学验证与标签规范：
- 保健食品需提供人体试食试验报告、动物实验报告等科学依据。
- 普通食品营养声称需符合GB 28050-2011标准，并在标签中标注具体含量。
- 广告内容审查：
- 避免使用“最佳”“最有效”等绝对化用语，以及“治疗”“康复”等医疗术语。
- 参考市场监管总局发布的《广告绝对化用语执法指南》，确保用语合规。
我们康派斯是一家具备CMA，CNAS资质的第三方检测机构，在对功能食品这块的功效测试上，会先根据您提供的产品成分，来定制功效实验方案，选用斑马鱼作为实验载体，最短三周就能出具测试结果。报告属于科研结果，可以用于申请专利，也可以用来展示给消费者，提高品牌公信力。
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集团总部位于西安市长安区中兴深蓝科技产业园B4-1座，占地面积8000㎡。拥有价值超亿万元的检验仪器设备400余套。其中来自美国安捷伦(Agilent)，德国布鲁克(Bruker), 瑞士万通(Metrohm) 等进口设备高达90%以上。集团拥有一只高效专业的团队，其中质检技术人员达70%，博士硕士占20%，本科学历占76%以上。
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